美国Ultrasonic Systems在“FPD International 2008”(10月29日～31日)上展出了通过超声波振动高精度涂布薄膜的喷涂装置。该技术能够实现原来使用喷嘴的喷涂装置难以实现的高精度涂布，材料利用率高达95～99%，还能够涂布混有微粒的液体。该产品在日本国内代理商伊藤忠产机的展位内展出。

　　Ultrasonic Systems的超声波喷涂技术原理如下。让喷涂的液体与利用超声波上下振动以生成液滴的头部相互接触，将液体尺寸细化为次微米级(图1)，然后直接涂布(图2)。原来使用喷嘴的空气喷涂方式在气压作用下使液体“接触底板”，而此次的超声波喷涂方式则将打得很细的液体直接“涂布到底板上”。

图1　不使用喷嘴而将利用超声波振动细化的液体涂布到底板上

图2　涂布到底板上后

图3　装置的外观

　　这种方法的优点是：(1)由于涂布的是微细化至次微米级的液体，所以可以形成次微米级膜厚以及高精度形成薄膜；(2)空气喷涂方式的问题在于液体被底板弹回及液体向旁边飞散，而此次开发的方法不会产生这些问题；(3)由于液体是在分散后的状态直接涂布的，所以材料利用率高达95～99％；(4)不需要空气喷涂装置通常使用的喷嘴，不会出现喷嘴堵塞的情况。

　　其中，由于不会造成喷嘴堵塞，因此能够涂布含有微粒的液体。比如，在美国曾用于涂布C(碳)和Pt(铂)等燃料电池的电极材料。在FPD(平板·显示器)方面，有望用于TFT形成后形成导电膜等用途。

　　Ultrasonic Systems的超声波喷涂装置“Prism”(图3)的涂布面积为400mm×400mm，涂布速度为500mm/秒。